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美 마이크론 “ASML EUV 장비 도착했어요~”

美 마이크론 “ASML EUV 장비 도착했어요~”

기사승인 2021. 09. 17. 09:44
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오는 2024년까지 극자외선 도입 목표
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ASML의 극자외선 장비가 마이크론 Boise 팹에 도착한 모습/제공=마이크론
미국 마이크론테크놀로지가 네덜란드 반도체 장비사 ASML로부터 극자외선(EUV) 시스템을 전달받았다고 16일(현지시간) 밝혔다.

마이크론은 공식 소셜네트워크서비스(SNS) 계정에 “가장 진보한 EUV 장비가 전날 보이스 팹에 도착했다”며 “오는 2024년까지 D램 생산에 1-감마 기술을 도입하겠다”고 밝혔다.

EUV 장비는 전 세계에서 ASML만 생산하지만, 첨단 반도체 생산의 필수 장비로 꼽힌다. EUV 장비는 응축된 강력한 빛을 웨이퍼에 쏘아서 회로를 그리는 역할이다. 반도체 칩 위에 그려지는 전기가 흐르는 길을 빛으로 그리는 것이다. 복잡한 패턴일수록 빛이 응축된 EUV 장비로 정확하게 그리면, 그만큼 공정이 줄고 생산 비용이 감소한다. 반도체 기업의 수익성에 EUV 장비가 끼치는 영향이 막대한 셈이다.

메모리반도체 업계에서 EUV 장비를 가장 먼저 도입한 곳은 삼성전자다. 삼성전자는 최근 1a D램에서 5개 층에 EUV로 회로를 그린다.

D램 빅3인 삼성전자, SK하이닉스, 마이크론의 EUV 장비 도입이 향후 경쟁력을 좌우할 것이란 예상도 나온다. SK하이닉스는 최근 컨퍼런스콜에서 “EUV 장비 도입 후 여러 어려움을 가장 먼저 해결하는 업체의 경쟁력이 높아질 것으로 본다”고 예상하기도 했다.


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