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인텔 ASML 업고 TSMC·삼성 파운드리 ‘정조준’

인텔 ASML 업고 TSMC·삼성 파운드리 ‘정조준’

기사승인 2022. 01. 20. 18:06
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더 작은 크기 첨단 반도체 생산
2025년 '20A' 공정에 적용 계획
퀄컴 모바일 프로세서 만들 듯
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인텔이 ASML의 차세대 극자외선(EUV) 노광 장비 ‘하이 NA’를 업계 최초로 구매했다. 인텔은 오는 2025년부터 하이 NA를 ‘20A’(옴스트롱) 공정에 적용할 계획이다. 옴스트롱은 삼성전자와 TSMC의 2나노미터(㎚, 10억분의 1m) 공정과 비슷한 수준의 기술이다. 반도체 위탁생산(파운드리) 진입과 동시에 첨단 공정 고객 확보에 나서겠다는 인텔의 야심이 드러난 것으로 업계는 보고있다.

ASML은 19일(현지시간) 인텔에 하이NA 노광장비인 ‘트윈스캔 EXE:5200’을 오는 2025년 공급한다고 밝혔다.

이 장비는 기존 제품보다 고해상도 렌즈를 제공해 더 작은 크기의 첨단 반도체를 생산한다. 인텔은 지난해 3월 파운드리 시장에 재진입하며 2나노 공정 수준인 20A 기술을 선보이겠다고 밝혔다.

삼성전자가 올해 상반기 3나노 공정기술을 1차 도입하고, TSMC가 하반기 3나노 양산을 시작하는 점을 의식한 것이다. 인텔은 양사가 2022~2024년 3나노를 거쳐 2나노 공정 기술을 선보일때 쯤 파운드리 시장에 진입한다.

파운드리 업계에서는 인텔이 새 장비를 퀄컴의 모바일 프로세서 제조에 가장 먼저 쓸 것으로 보고 있다. 인텔은 지난해 7월 퀄컴, 아마존 등을 파운드리 고객사로 확보했다고 발표했다. 모바일 프로세서는 가장 최신의 기술이 적용되는 고집적 통합칩(SOC)으로 통한다.

지난해 ASML은 EUV 장비 42대를 세계 반도체 제조사에 판매했다. 첨단 반도체 설비 투자가 늘면서 기록한 역대 최대 판매량이다. ASML 장비는 생산 난이도가 높아 1년 생산량이 40여 대가 채 안된다. 한 대당 가격은 1500억~2000억원에 이른다. ASML의 지난해 매출은 186억 유로(약 25조원), 영업이익은 98억 유로(약 13조원)에 달했다. 전년 동기 대비 매출은 33.1%, 영업이익은 44% 늘었다.

ASML의 EUV 장비를 확보하려는 반도체 기업들의 경쟁도 치열해지고 있다. 지난해 판매한 42대 가운데 대만, 한국이 가장 많은 장비를 확보했다. 대만은 지난해 ASML이 판매한 장비 물량의 44%를 차지했다. 한국은 35%, 중국은 16%, 미국은 5% 순이다. 대만은 ASML 최대 고객사인 TSCM와 UMC, D램 4위업체 난야가 자리해 있다. 한국은 삼성전자가 ASML 1등 고객이다. SK하이닉스도 D램용 EUV 장비를 샀다.


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